용도

-로터리식 진공펌프 가동용.
- 압축기
- 유회전식 진공펌프

진공 PUMP OIL 교환 시기

진공펌프오일은 진공 증류하여 증기압이 50 에서 10^-5 TORR정도라야 배기속도도 빠르고 고진공을 빠른 시간 내에 얻을수 있다.
오일이 나쁘면 배기시 공기에 밀려 쉽게 밖으로 날라가며 점도와 증기압이 쉽게 변하여 MOTOR에 부하가 걸리게 되고 진공도도 낮아진다.
증기압이 50에서 10^-5TORR로 낮아야 하고 탈가스가 잘된것이라야 한다.
윤활성(유성,점도등)이 그PUMP에 잘 맞아야 한다.
내열성이 좋아야한다.
물 분리성이 좋아야 한다.

펌프오일은 상기 교환기간을 참조하나 오염정도에 따라 교환한다.
-오일 레벌 게이즈 중앙까지 급유함.
수분, 찌꺼기등이 오일 탱크 아래에 고여 있으므로 매일 아침 시동전에 DRAIN하여 깨끗이 빼내준다.
NEOVAC MR-200은OIL이 맑고 투명하여 매우 좋은 오일이며 증기압이 10-5TORR(50 에서)이다.