| ▶ 제품번호 : | 618-4~, 618-5~, 618-7~ |
| ▶ 제품명 : | 임계 치수(CD) 보정 시험 시편 Critical Dimension (CD) Calibration Test Specimens
임계 치수(CD) 보정 시험 시편
SEM, FIB 및 AFM의 경우
"임계 치수(CD) 구조"는 SEM/FIB 배율 보정에 특히 유용하며 AFM에 사용될 수 있습니다. 고성능 SEM 또는 FIB 시스템을 사용하는 현미경학자와 엔지니어들은 이 교정 시험편이 유용하다고 생각할 것입니다. 4.8 x 4.8mm 실리콘 표준은 가장자리 둘레에 480 ?m의 측면 길이를 가진 일련의 패턴을 가지고 있어 방향 설정에 도움이 됩니다. 세 가지 버전이 있습니다.
|
10-5-2-1-0.5um 구조의 버전
이 CD 보정 시험편은 5개의 선 패턴으로 구성되어 있으며, 각 선 패턴은 피치로 명확하게 식별됩니다. 각 패턴에는 10.0um, 5.0 ?m, 2.0 ?m, 1.0 ?m, 0.5 ?m의 다섯 개의 막대와 동일한 피치 공간이 있습니다. 중심선 영역은 AFM 측정에 사용할 수 있습니다. 패턴은 약 200nm 깊이로 Si에 식각됩니다. Si 표면에는 코팅이 되어 있지 않습니다.두 가지 유형이 제공됩니다: - 비인증 - PTB(Physikalische Technische Bundesanstalt - NIST의 독일 카운터파트) 인증 및 개별 번호 부여.
9가지 다른 표준을 측정한 결과, 정확도와 일관성은 다음과 같습니다:
| 패턴 크기 | 10 ?m | 5 ?m | 2 ?m | 1 ?m | 0.?m |
| 정확성. | 0.20% | 0.22% | 0.35% | 0.56% | 0.78% |
| 균일성 | 0.27% | 0.34% | 0.53% | 0.80% | 1.2% |
언마운트
| 제품 번호. | 묘사 | 구성 단위 |
|---|
| 618-5 | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 비인증, 장착 해제 | 각각 |
| 618-7 | CD 구조물 10-5-2-1-0.5um 시편, 독일 물리칼리셰 기술 분데스탈트 인증, 장착 해제됨 | 각각 |
장착, 인증되지 않음 : (마운트 선택 항목, 유형 A-P 참조)
| 제품 번호. | 묘사 | 구성 단위 |
|---|
| 618-5A | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 A | 각각 |
| 618-5B | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 B | 각각 |
| 618-5C | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 C | 각각 |
| 618-5D | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 D | 각각 |
| 618-5E | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 E | 각각 |
| 618-5F | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 F | 각각 |
| 618-5G | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 G | 각각 |
| 618-5K | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 K | 각각 |
| 618-5L | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 L | 각각 |
| 618-5M | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 M | 각각 |
| 618-5O | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 O | 각각 |
| 618-5P | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 P | 각각 |
| 618-5Q | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 Q | 각각 |
| 618-5R | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 R | 각각 |
장착, 독일 연방 공과대학교 인증(마운트 선택 항목, 유형 A-M 참조)
| 제품 번호. | 묘사 | 구성 단위 |
|---|
| 618-7A | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 사양, 인증, 마운트 A | 각각 |
| 618-7B | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 규격, 인증, 마운트 B | 각각 |
| 618-7C | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 사양, 인증, 마운트 C | 각각 |
| 618-7D | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 사양, 인증, 마운트 D | 각각 |
| 618-7E | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 사양, 인증, 마운트 E | 각각 |
| 618-7F | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 사양, 인증, 마운트 F | 각각 |
| 618-7G | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 사양, 인증, 마운트 G, 유 서플라이 마운트 | 각각 |
| 618-7K | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 규격, 인증, 마운트 K | 각각 |
| 618-7L | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 사양, 인증, 마운트 L | 각각 |
| 618-7M | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 사양, 인증, 마운트 M | 각각 |
| 618-7O | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 사양, 인증, 마운트 O | 각각 |
| 618-7P | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 사양, 인증, 마운트 P | 각각 |
| 618-7Q | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 사양, 인증, 마운트 Q | 각각 |
| 618-7R | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 사양, 인증, 마운트 R | 각각 |
이 고급 CD 보정 시험편은 작은 구조물을 보정하는 데 적합합니다. 500-200-100nm 시험편은 각각 피치로 식별되는 3개의 선 패턴으로 구성되어 있습니다. 각 패턴에는 5개의 막대와 동일한 피치를 가진 공간이 있습니다: 500nm, 200nm, 100nm. 중앙 영역은 AFM 측정에 사용될 수 있습니다. 패턴은 약 45-50nm 깊이로 Si에 식각됩니다. Si 표면에는 코팅이 되어 있지 않습니다. 일부 CD 보정 대상에서는 100nm 라인 중 하나가 누락될 수 있습니다. 이것은 정상적인 현상이며 표본의 성능에 영향을 미치지 않습니다.
언마운트
| 제품 번호. | 묘사 | 구성 단위 |
|---|
| 618-4 | CD 구조 500-200-100nm 시편, 인증되지 않음, 장착되지 않음 | 각각 |
장착, 인증되지 않음 : (마운트 선택 항목, 유형 A-P 참조)
| 제품 번호. | 묘사 | 구성 단위 |
|---|
| 618-4A | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 A | 각각 |
| 618-4B | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 B | 각각 |
| 618-4C | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 C | 각각 |
| 618-4D | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 D | 각각 |
| 618-4E | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 E | 각각 |
| 618-4F | CD 구조 500-200-100nm 시편, 인증되지 않음, 마운트 F | 각각 |
| 618-4G | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 G | 각각 |
| 618-4K | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 K | 각각 |
| 618-4L | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 L | 각각 |
| 618-4M | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 M | 각각 |
| 618-4O | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 O | 각각 |
| 618-4P | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 P | 각각 |
| 618-4Q | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 Q | 각각 |
| 618-4R | CD 구조물 10-5-2-1-0.5 ?m 시편, 인증되지 않음, 마운트 R | 각각 |
이 버튼을 눌러 이 페이지의 제품 링크와 함께 견적 요청을 주시면 보다 빠르게 받아보실 수 있습니다.
빠르게 견적받기(클릭)
