
Porous Ceramics / 포러스 세라믹
다공성 세라믹 / 포러스척
균일한 미세기공 구조를 활용한 진공 흡착·여과·기체 분산용 기능성 세라믹 소재
1. 제품소개
Porous Ceramics(포러스 세라믹)는 세라믹 내부에 미세하고 연속적인 기공을 형성한 다공성 세라믹 소재입니다.
기공을 통해 공기 및 유체가 이동할 수 있어 진공 흡착, 여과, 기체 분산, 정밀 부품 고정 등의 용도로 활용됩니다.
특히 알루미나(Al₂O₃) 기반의 포러스 세라믹은 내열성과 내화학성이 우수하여 반도체·디스플레이 제조공정의 포러스척, 진공 흡착판, 필터 및 산업용 기능성 부품으로 폭넓게 적용할 수 있습니다.
2. 제품특징 · 가공형태
균일한 미세기공 구조
미세기공을 통해 공기나 유체를 제품 표면에 균일하게 분산시킬 수 있습니다.
우수한 진공 흡착 특성
흡착력을 넓은 면적으로 분산시켜 웨이퍼, 유리, 필름 등의 정밀 고정에 활용됩니다.
우수한 내열·내화학성
세라믹 소재의 특성을 바탕으로 고온 및 화학적 환경에서 사용하기 적합합니다.
다양한 형상 제작
사용 장비와 목적에 맞춰 크기, 두께, 형상 및 기공 조건을 고려한 제작이 가능합니다.
주요 가공형태
Porous Plate / 포러스 판재
Porous Substrate / 포러스 기판
Porous Disc / 포러스 디스크
Porous Tube / 포러스 튜브
Porous Rod / 포러스 봉재
Porous Ring / 포러스 링
Porous Block / 포러스 블록
Porous Filter / 포러스 필터
Porous Vacuum Chuck / 포러스 진공척
Custom Machined Parts / 주문제작 가공품
3. 적용분야
반도체 웨이퍼 진공 흡착
포러스 진공척 및 흡착판
디스플레이·유리 기판 고정
필름 및 박막 소재 흡착
정밀가공용 워크 고정
기체 및 액체 여과
에어·가스 분산 및 디퓨저
반도체·전자 제조장비
자동화 및 정밀가공 장비
연구·실험용 다공성 세라믹
※ 기공 크기, 기공률, 통기량 및 진공 흡착 특성은 소재와 제조 조건에 따라 달라질 수 있습니다.
4. 주문제작 안내
사용 목적과 장비 조건에 따라 다양한 규격 및 형상의 포러스 세라믹 제품을 제작할 수 있습니다.
소재명 / 재질
제품 형태
외형 치수
공차
가공 형상
표면 상태
사용 온도 또는 사용 조건
수량
도면 및 기타 요구사항
포러스척 및 다공성 기능부품은 기공 크기, 기공률, 요구 통기량, 사용 압력 및 진공 조건을 함께 알려주시면 제품 선정 및 제작 검토에 도움이 됩니다.
