이트리아 링 / Yttria Ring / Y₂O₃ Ring
이트리아 링은 산화이트륨(Yttrium Oxide, Y₂O₃) 소재로 제작되는 고기능성 세라믹 링입니다.
우수한 내플라즈마성과 화학적 안정성을 바탕으로 반도체 플라즈마·식각(Etching) 공정용 부품 및 특수 세라믹 부품으로 활용됩니다.
필요한 외경(OD), 내경(ID), 두께(T)에 맞춰 주문제작이 가능합니다.
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제품특징
우수한 내플라즈마성
플라즈마 노출 환경에서 높은 내식각 특성이 요구되는 부품에 적합합니다.
높은 화학적 안정성
화학적으로 안정적인 세라믹 소재로 반도체 및 정밀 공정 부품에 활용됩니다.
우수한 내열 특성
고온 및 열적 안정성이 요구되는 특수 세라믹 부품에 적용할 수 있습니다.
반도체 공정 적용
식각·플라즈마 장비 등 오염 및 파티클 관리가 중요한 공정에 활용됩니다.
정밀 세라믹 가공
링 형태를 비롯해 장비 사양에 맞는 정밀가공 및 특수 형상 제작이 가능합니다.
다양한 규격 주문제작
OD, ID, T 및 세부 형상을 지정하여 소량·특수규격으로 제작할 수 있습니다.
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주요 활용 분야
반도체 식각(Etching) 장비, 플라즈마 공정장비, 반도체 제조장비 내부 부품, 진공장비,
디스플레이 제조공정, 내플라즈마 세라믹 부품, 연구·실험용 특수 세라믹 부품 등에 활용됩니다.
주문제작 안내
원하시는 OD(외경) × ID(내경) × T(두께)를 기준으로 제작 가능하며, 장비 및 공정 조건에 따라 특수 규격도 상담 가능합니다.
리스트 외 사이즈 가능 / 특수 세라믹 전문 / 정밀가공 / 주문제작 / 소량발주 가능