16010, 16011, 16012, 16013, 16015, 21610-4, 21610-6, 21610-55, 21610-57, 21610-510, 21620-6, 21620-55, 21620-57, 21620-510

실리콘 웨이퍼

Silicon Wafers

실리콘 웨이퍼

1", 2", 3", 4" 및 6" 실리콘 웨이퍼

이 1", 2", 3", 4" 및 6" 직경의 실리콘 웨이퍼는 박막 연구용 기판으로 사용하거나 스크라이버와 웨이퍼 클리빙/유리 브레이킹 플라이어를 사용하여 웨이퍼를 더 작은 조각으로 절단하여 작은 실리콘 기판을 만드는 데 사용할 수 있습니다. 웨이퍼는 웨이퍼 캐리어에 담겨 배송됩니다.

웨이퍼 장착 필름

속성:

• 방향: 1인치, 2인치, 4인치 및 6인치 웨이퍼 <111인치 3인치
• 저항: 1-30옴
• 타입 P : (보론) (1 개의 기본 플랫)
• SiO2 탑 코팅 없음
• Wafer thickness :
  Ø1" = 10 - 12 mill (254 - 304 ?m)
  Ø2" = 9 - 13 mill (230 - 330 ?m)
  Ø3" = 13.6 - 18.5 mill (345 - 470 ?m)
  Ø4" = 18.7 - 22.6 mill (475 - 575 ?m)
  Ø6" = 23.6 - 25.2 mill (600 - 690 ?m)
• 거칠기: 2nm
• TTV : = < 20 ?m
• Bow/Warp: ≤30?m
• 웨이퍼의 한쪽 면이 연마됩니다

제품 번호.	묘사	구성 단위
16011	Ø1" 실리콘 웨이퍼, 타입 P / <100>	각각
16012	Ø2" 실리콘 웨이퍼, 타입 P / <100>	각각
21605	새로운 Ø3" 실리콘 웨이퍼, 타입 P / <100>	각각
16013	Ø3" 실리콘 웨이퍼, 타입 P / <111>	각각
16010	Ø4" 실리콘 웨이퍼, 타입 P / <100>	각각
16015	Ø6" 실리콘 웨이퍼, 타입 P / <100>	각각
21601	새로운 Ø1" 실리콘 웨이퍼, 타입 N / <100>	각각
21602	새로운 Ø2" 실리콘 웨이퍼, 타입 N / <100>	각각
21603	새로운 Ø3" 실리콘 웨이퍼, 타입 N / <100>	각각
21604	새로운 Ø4" 실리콘 웨이퍼, 타입 N / <100>	각각
21606	새로운 Ø6" 실리콘 웨이퍼, 타입 N / <100>	각각

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초평탄 4인치 실리콘 웨이퍼

까다로운 기판 연구를 위한 초평탄 4인치 실리콘 웨이퍼. 스크라이버와 웨이퍼 클리빙/유리 브레이킹 플라이어를 사용하여 웨이퍼를 더 작은 조각으로 나누어 AFM 또는 SEM 샘플의 기판으로 사용할 수도 있습니다. 4인치 초평탄 실리콘 웨이퍼는 4인치 웨이퍼 캐리어에 담겨 배송됩니다.

 

4인치(100mm)용 특성 초평탄 웨이퍼 :

• 오리엔테이션: <100>
• 유형/도펀트: P/Boron
• 등급 : 프라임 / CZ 버진
• 저항: 10-20옴-cm
• 두께 s: 525 ?m +/- 20 ?m
• TTV : <4.00 ?m
• SFPD : <2.0 ?m
• 워프 : ≤ 30 ?m
• 활 : ≤ 20 ?m
• 입자: ≤20@≥0.3 ?m
• 전면 표면 : 광택 처리됨
• 뒷면 : 에칭됨
• 평면: 세미 스탠다드당 2개
• 사이트 평탄도: <2.0 ?m
• 거칠기: 일반적으로 2-3?

제품 번호.	묘사	구성 단위
21610-4	Ø4" 초평탄 실리콘 웨이퍼, 유형 <100>	각각

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초평탄 6인치 실리콘 웨이퍼

초평탄 6인치 실리콘 웨이퍼	NEW 5 x 5mm, 5 x 7mm, 10 x 10mm 스텔스 다이 초평탄 웨이퍼

까다로운 기판 연구를 위한 초평탄 6인치 직경 실리콘 웨이퍼. 6인치 초평탄 실리콘 웨이퍼는 6인치 웨이퍼 캐리어에 담겨 배송됩니다.

젤팩 박스에 5 x 5mm, 5 x 7mm, 10 x 10mm 스텔스 다이로도 제공됩니다. 스텔스 다이싱은 톱 다이싱과 관련된 가장자리 조각과 절단 잔해를 제거하여 가능한 한 가장 깨끗하고 균일한 제품을 제공합니다. 모든 제품은 10등급 클린룸 조건으로 포장되어 있습니다.

 

6인치(150mm)용 특성 초평탄 웨이퍼 :

• 오리엔테이션: <100>
• 유형: P / 도펀트: 붕소
• 등급 : 프라임 / CZ 버진
• 저항: 1-10 옴/cm
• 두께 s: 650 - 700 ?m
• TTV : ≤ 1.?m
• 워프 : ≤ 30 ?m
• 활 : ≤ 30 ?m
• 입자: ≤ 30@≥0.2 ?m
• 전면 : 광택 처리됨
• 뒷면 : 에칭됨
• 평평함: 세미 스탠다드당 1개(평면 길이 57.5 ± 2.5mm)
• 크기: 직경 6인치(150mm) 웨이퍼 또는 5x5mm, 5x7mm 또는 10x10mm 다이싱 칩
• 거칠기: 일반적인 2-3? (AFM 측정 기준)

제품 번호.	묘사	구성 단위
21610-6	Ø6" 초평탄 실리콘 웨이퍼, 유형 <100>	각각
21610-55	젤-팩® 상자에 5mm 스텔스 다이싱 초평탄 웨이퍼 5개, 타입 <100>	상자/25
21610-57	젤-팩® 상자에 7mm 스텔스 다이싱 초평탄 웨이퍼 5개, 타입 <100>	상자/18
21610-510	10 x 10mm 스텔스 다이싱 울트라 플랫 웨이퍼, 타입 <100>, Gel-Pak® 박스 내	상자/6

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초평탄 열 SiO2 기판

초평탄 SiO2 기판은 초평탄 실리콘 웨이퍼 위에 200nm 열 성장 비정질 SiO2 필름으로 구성되어 있습니다. SiO2는 가장 특징지어지는 물질 중 하나로, 반도체 제조, 박막 연구 및 세포 성장 기판으로 널리 사용됩니다. AFM 및 SEM 이미징의 기판으로 직접 사용할 수 있습니다. 초평탄 열 이산화규소 기판은 6인치 웨이퍼와 편리하게 다이싱된 5x5mm, 5x7mm 및 10x10mm 칩으로 제공됩니다. 6인치 웨이퍼는 6인치 웨이퍼 캐리어에 담겨 배송되며, 다진 조각은 젤팩 상자에 담겨 배송됩니다. 특별한 청정 다이싱 공정은 다이싱 전에 웨이퍼를 포토레지스트로 코팅하고 다이싱 후 제거하여 이물질이 없는 SiO2 기판을 생성하는 과정을 포함합니다. 모든 제품은 10등급 클린룸 조건으로 포장되어 있습니다.

 

열 SiO2 기판의 특성:

오리엔테이션: <100>

제품 번호.	묘사	구성 단위
21620-6	6인치 웨이퍼 캐리어에 장착된 Ø6인치 초평탄 웨이퍼의 200nm 열산화물(타입 <100>)	각각
21620-55	젤팩 박스에 있는 5x5mm 다이싱 초평탄 웨이퍼의 200nm 열산화물(타입 <100>)	상자당 25개
21620-57	젤팩 박스에 있는 5x7mm 다이싱 초평탄 웨이퍼의 200nm 열산화물(타입 <100>)	18개/박스
21620-510	10x10mm 다이싱된 초평탄 웨이퍼 위의 200nm 열산화물(Gel-Pak 박스 내 <100> 유형)	상자당 6개