스퍼터링 타겟 / Sputtering Target
반도체, 디스플레이, 광학, 전자소재 및 박막 증착 공정에 사용되는 스퍼터링 타겟(Sputtering Target)입니다.
금속부터 합금, 세라믹, 폴리머 및 특수 소재까지 다양한 재질로 제작 가능하며, 규격·조성·순도·두께에 따른 주문제작 및 소량 제작도 가능합니다.
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제품 특징
다양한 타겟 소재 제작
금속, 합금, 산화물, 세라믹, 폴리머 등 다양한 소재의 타겟 제작이 가능합니다.
특수 합금 및 조성비 대응
Mo-TiO₂와 같은 복합 조성 및 연구 목적의 특수 합금도 상담 가능합니다.
다양한 크기 및 두께 제작
Ø50.8 mm, Ø57 mm, Ø101.6 mm, Ø203.2 mm 등 다양한 직경과 두께로 제작 가능합니다.
Bonding 가공 가능
Cu Backing Plate 등과 결합하는 Bonding 타입의 스퍼터링 타겟 제작이 가능합니다.
연구용 소량 주문제작
R&D 및 실험 목적의 특수 규격·특수 소재에 대해 소량 발주가 가능합니다.
다양한 순도 대응
용도와 소재에 따라 고순도 재료를 이용한 타겟 제작 상담이 가능합니다.
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주요 제작 예시
소재 / Target
| 이미지 내 제작 규격 예시 |
|---|
| Copper / Cu Target | Ø203.2 × T6.35 mm, Bonding |
| Aluminum / Al Target | Ø57 × T1 mm |
| Mo 65% + TiO₂ 35% Alloy Target | Ø101.6 × T6 mm |
| FEP Polymer Target | Ø50.8 × T6.35 mm |
| PU Polymer Target | Ø50.8 × T6.35 mm |
| Neodymium Target | Ø50.8 × T5 mm |
| Titanium Target | Ø203.2 × T6.35 mm, 5N |
| Samarium Target | Ø50.8 × T3 / T5 mm |
| Tantalum Target | Ø101.6 × T6 mm, 3N5 |
| Gadolinium Target | Ø50.8 × T3 mm |
※ 상기 규격은 제작 사례 기준이며, 필요한 소재·직경·두께·순도·조성에 따라 별도 제작 가능합니다.
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주문제작 시 확인사항
항목
| 주문 시 확인 내용 |
|---|
| Material / 소재 | Cu, Al, Ti, Ta, Sm, Gd, Nd, Polymer, Alloy 등 |
| Composition / 조성 | 단일 소재 또는 합금·복합 조성 |
| Purity / 순도 | 3N, 4N, 5N 등 필요 순도 |
| Diameter / 직경 | Ø50.8, Ø57, Ø101.6, Ø203.2 mm 등 |
| Thickness / 두께 | T1, T3, T5, T6, T6.35 mm 등 |
| Bonding / 본딩 | Bonding 여부 및 Backing Plate 사양 |
| Quantity / 수량 | 연구용 소량 및 필요 수량 협의 |
주요 활용 분야
적용 분야
| 주요 용도 |
|---|
| 반도체 | 박막 형성 및 전극 증착 |
| 디스플레이 | 기능성·전도성 박막 증착 |
| 광학 코팅 | 반사막, 보호막 및 기능성 코팅 |
| 전자소재 | 금속·합금 박막 제조 |
| 신소재 연구 | 특수 합금 및 복합 소재 박막 연구 |
| 대학·연구소 R&D | 신규 소재 및 증착 조건 평가 |
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주문제작 안내
리스트 외 소재도 가능합니다.
Ceramics 세라믹 | Alumina
Al2O3 | Aluminium Nitride
AlN | Aluminium Titanate Al2TiO5 | Barium Titanate
BaTiO3 |
Beryllium Oxide
BeO | Boron Carbide
B4C | Boron Nitride
BN | Borosilicate Glass |
Carbon, Graphite | Cordierite | Ferrite | Forsterite |
Germanium Oxide
GeO2 | Lanthanu Hexaboride LaB6 | Magnesia
MgO | Manganese Zinc
MnZn |
Mica | Mullite | Nickel Zinc
NiZn | Porcelain |
Porous Ceramics | Pyrex | Pyrolytic Graphite
PG | Quartz
SiO2 |
Sapphire Ruby | Silicate | Silicon Carbide
SiC | Silicon Nitride
Si3N4 |
Soda Lime Glass | Steatite | Strontium titanate SrTiO3 | Talc |
Titanium Diboride
TiB2 | Titanium Dioxide
TiO2 | Tungsten Carbide
WC | Wollastonite |
Yttria
Y2O3 | Zeolite | Zirconia
ZrO2 | 세라믹 복합소재 |
Metals
금속 | Aluminium | Barium | Beryllium | Bismuth |
Boron | Cerium | Chromium | Cobalt |
Copper | Gadolinium | Gallium | Germanium |
Indium | Iridium | Iron | Lithium |
Magnesium | Manganese | Molybdenum | Neodymium |
Nickel | Niobium | Palladium | Phosphorus |
Platinum | Rhenium | Rhodium | Ruthenium |
Samarium | Scandium | Strontium | Silicon |
Tantalum | Thorium | Tin | Titanium |
합금, Alloy 소재 |
Polymers 고분자 | ECTFE | ETFE | PAI | PCTFE |
PEEK | PI | PPSU | PTFE |
PVDF | 기타 고분자 소재 및 복합소재 FEP, PU |
특수소재 · 특수합금 · Bonding · Backing Plate · 스퍼터링 타겟 · 증착재료 등
연구 목적에 맞춘 주문제작 및 소량 발주 상담이 가능합니다.
